YAG Kristali
YAG (Yttrium Alüminyum Garnet, Y₃Al₅O₁₂) kristali, yüksek sertliği, yüksek termal iletkenliği, iyi kimyasal stabilitesi ve mükemmel optik homojenliği ile bilinen yüksek-performanslı bir lazer ve optik malzemedir. Katı hal lazerlerinde, LED fosfor alt katmanlarında, optik pencerelerde, tıbbi lazer ekipmanlarında ve savunma elektro-optik sistemlerinde yaygın olarak kullanılır.
Hemei Şirketi, sert ve kırılgan malzemelerin hassas işlenmesinde derin teknik uzmanlığa sahiptir. YAG kristalleri için Hemei, kaba cilalamadan ince cilalamaya kadar tamamen kontrol edilebilir bir işleme olanak tanıyan, YAG kristal yüzeyinin "lazer-sınıfı" veya "optik-kalitesi" kalite standartlarını karşılamasını sağlayan etkili ve istikrarlı bir cilalama işlemi geliştirmiştir.
Başvuru Gereksinimleri
YAG kristallerinin parlatma hedefleri şunları içerir:
Yüzey pürüzlülüğünün (Ra) azaltılması< 0.5 nm.
λ/10'dan (@632,8 nm) daha iyi yüzey şekli doğruluğu (PV değeri) elde etme.
Alt-yüzey çatlakları olmayan, hasarsız-bir yüzey sağlamak, lazer- kaynaklı hasar eşiği gereksinimlerini karşılamak.
Belirli bir mikrometre aralığında kalınlık homojenliğinin (TTV) kontrol edilmesi.
Bu hedeflere ulaşmak için Hemei'nin süreci, işleme sırasında geometrik doğruluğu ve yüzey bütünlüğünü sağlamak üzere özelleştirilmiş bağlama sistemleri ve çok-adımlı cilalama prosedürlerini kullanır.
Sistem Özellikleri
Hemei'nin modüler parlatma sistemi, çeşitli boyut ve şekillerde YAG kristallerinin işlenmesini destekler. Çekirdek sistemler şunları içerir:
HSM-L/LP Serisi alıştırma Ekipmanı: İlk malzeme kaldırma ve kalınlık kontrolü için.
HSM-CMP Serisi Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP) Sistemi: Ultra-pürüzsüz, hasarsız-yüzeyler elde etmek için.
Anahtar alt sistemler şunları içerir:
Gofretin/Kristal-özel Bağlama Birimi (WB)
SJ/ASJ Serisi Hassas Parlatma Fikstürleri
C-ASJ Tahrik Kafası Yüksek-Hızlı Parlatma Sistemi
İşlem Akışı
Yapıştırma ve Montaj: YAG kristali, WB ünitesi kullanılarak bir destek plakasına geçici olarak bağlanır ve ardından cilalama fikstürüne monte edilir.
Kaba ve Orta Düzey Parlatma: İşleme hasarı katmanını kaldırmak için HSM-L ekipmanında kontrollü alıştırma gerçekleştirilir.
İnce Parlatma: HSM-CMP sistemi son cilalamayı gerçekleştirir. Basınç, dönüş hızı ve bulamaç akışı gibi parametreler, nanometre-düzeyinde yüzey düzgünlüğü elde etmek için gerçek-zamanlı olarak ayarlanır.
Tipik Sonuçlar
Yüzey pürüzlülüğü Ra < 0,5 nm.
Yüzey şekli doğruluğu PV λ/10'a eşit veya daha az.
1-2,5 μm/dak'lık kontrol edilebilir malzeme kaldırma oranı.
Çapı 6 inç'e eşit veya daha küçük olan YAG levhalar ve şekilli kristaller için uygundur.
Hemei Company, YAG kristalleri için sürekli olarak nanometre-düzeyinde yüzey kalitesi ve yüksek optik performans sunabilen eksiksiz ve güvenilir bir parlatma çözümü sunuyor. Bu, YAG kristallerinin lazer ve optoelektronik gibi ileri teknoloji alanlardaki endüstriyel uygulamasını destekler.
